An analytical model of multi-component radio frequency capacitively coupled plasma and experimental validation

Saikia, Partha; Bhuyan, Heman; Favre, Mario; Wyndham, Edmundo; Veloso, Felipe

Más información

Título según WOS: An analytical model of multi-component radio frequency capacitively coupled plasma and experimental validation
Título según SCOPUS: An analytical model of multi-component radio frequency capacitively coupled plasma and experimental validation
Título de la Revista: PHYSICS OF PLASMAS
Volumen: 24
Número: 1
Editorial: AMER INST PHYSICS
Fecha de publicación: 2017
Idioma: English
DOI:

10.1063/1.4973233

Notas: ISI, SCOPUS