Intrinsic electron traps in atomic-layer deposited HfO2 insulators
Más información
Título según WOS: | Intrinsic electron traps in atomic-layer deposited HfO2 insulators |
Título según SCOPUS: | Intrinsic electron traps in atomic-layer deposited HfO2 insulators |
Título de la Revista: | APPLIED PHYSICS LETTERS |
Volumen: | 108 |
Número: | 22 |
Editorial: | AMER INST PHYSICS |
Fecha de publicación: | 2016 |
Idioma: | English |
DOI: |
10.1063/1.4952718 |
Notas: | ISI, SCOPUS |