ConferencePaper SCOPUS
APPLIED MECHANICS AND MATERIALS  (2012)

Characterization of capacitively coupled radio-frequency argon plasma by electrical circuit simulation

Bora, B; Bhuyan, H; Favre, M.; Wyndham E.; Chuaqui, H

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Título según SCOPUS: Characterization of capacitively coupled radio-frequency argon plasma by electrical circuit simulation
Título de la Revista: APPLIED MECHANICS AND MATERIALS
Volumen: 110-116
Editorial: Trans Tech Publications Ltd.
Fecha de publicación: 2012
Página de inicio: 5373
Página final: 5379
Idioma: English
DOI:

10.4028/www.scientific.net/AMM.110-116.53
Notas: SCOPUS