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JOURNAL OF APPLIED PHYSICS  (2018)

The electrical asymmetry effect in a multi frequency geometrically asymmetric capacitively coupled plasma: A study by a nonlinear global model

Saikia P.; Bhuyan, H; Escalona, M; Favre, M; Bora, B; Kakati, M; Wyndham, E; Rawat, RS; Schulze, J

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Título según WOS: The electrical asymmetry effect in a multi frequency geometrically asymmetric capacitively coupled plasma: A study by a nonlinear global model
Título según SCOPUS: The electrical asymmetry effect in a multi frequency geometrically asymmetric capacitively coupled plasma: A study by a nonlinear global model
Título de la Revista: JOURNAL OF APPLIED PHYSICS
Volumen: 123
Número: 18
Editorial: AMER INST PHYSICS
Fecha de publicación: 2018
Idioma: English
DOI:

10.1063/1.5023884
Notas: ISI, SCOPUS