A nonlinear global model of single frequency capacitively coupled plasma and its experimental validation
Más información
Título según WOS: | A nonlinear global model of single frequency capacitively coupled plasma and its experimental validation |
Título según SCOPUS: | A nonlinear global model of single frequency capacitively coupled plasma and its experimental validation |
Título de la Revista: | AIP ADVANCES |
Volumen: | 8 |
Número: | 4 |
Editorial: | AMER INST PHYSICS |
Fecha de publicación: | 2018 |
Idioma: | English |
DOI: |
10.1063/1.5022654 |
Notas: | ISI, SCOPUS |