Article ISI SCOPUS
AIP ADVANCES  (2018)

A nonlinear global model of single frequency capacitively coupled plasma and its experimental validation

Saikia P.; Bhuyan, H; Escalona, M; Favre, M; Rawat, RS; Wyndham, E

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Título según WOS: A nonlinear global model of single frequency capacitively coupled plasma and its experimental validation
Título según SCOPUS: A nonlinear global model of single frequency capacitively coupled plasma and its experimental validation
Título de la Revista: AIP ADVANCES
Volumen: 8
Número: 4
Editorial: AIP PUBLISHING LLC
Fecha de publicación: 2018
Idioma: English
DOI:

10.1063/1.5022654
Notas: ISI, SCOPUS