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VACUUM  (2018)

Influence of the oxygen consumption on the crystalline structure of titanium oxides thin films prepared by DC reactive magnetron sputtering

Villarroel, R; Espinoza-Gonzalez, R; Lisoni J.; Gonzalez-Moraga, G

Keywords: Reactive sputtering, Film pumping speed, Titanium suboxides

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Título según WOS: Influence of the oxygen consumption on the crystalline structure of titanium oxides thin films prepared by DC reactive magnetron sputtering
Título según SCOPUS: Influence of the oxygen consumption on the crystalline structure of titanium oxides thin films prepared by DC reactive magnetron sputtering
Título de la Revista: VACUUM
Volumen: 154
Editorial: PERGAMON-ELSEVIER SCIENCE LTD
Fecha de publicación: 2018
Página de inicio: 52
Página final: 57
Idioma: English
DOI:

10.1016/j.vacuum.2018.04.049
Notas: ISI, SCOPUS