EFFECT OF METHANE HYDROGEN DILUTION ON THE PROPERTIES OF HYDROGENATED AMORPHOUS-CARBON FILMS DEPOSITED BY RF-PLASMA
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Título según WOS: | ID WOS:A1992JE67800024 Not found in local WOS DB |
Título de la Revista: | DIAMOND AND RELATED MATERIALS |
Volumen: | 1 |
Número: | 5-6 |
Editorial: | ELSEVIER SCIENCE SA |
Fecha de publicación: | 1992 |
Página de inicio: | 538 |
Página final: | 542 |
DOI: |
10.1016/0925-9635(92)90160-P |
Notas: | ISI |