EFFECT OF METHANE HYDROGEN DILUTION ON THE PROPERTIES OF HYDROGENATED AMORPHOUS-CARBON FILMS DEPOSITED BY RF-PLASMA

SERRA, C; PASCUAL, E; MAASS, F; BERTRAN, E; ESTEVE, J

Más información

Título según WOS: ID WOS:A1992JE67800024 Not found in local WOS DB
Título de la Revista: DIAMOND AND RELATED MATERIALS
Volumen: 1
Número: 5-6
Editorial: ELSEVIER SCIENCE SA
Fecha de publicación: 1992
Página de inicio: 538
Página final: 542
DOI:

10.1016/0925-9635(92)90160-P

Notas: ISI