Stress evolution in integrated SrBi2Ta2O9 ferroelectric layers

Wafer, K.

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Título de la Revista: Materials Research Society Symposium - Proceedings
Volumen: 784
Fecha de publicación: 2003
Página de inicio: 3
Página final: 8
DOI:

DOI: 10.1557/proc-784-c1.2

Notas: SCOPUS