Stress evolution in integrated SrBi2Ta2O9 ferroelectric layers
Más información
Título de la Revista: | Materials Research Society Symposium - Proceedings |
Volumen: | 784 |
Fecha de publicación: | 2003 |
Página de inicio: | 3 |
Página final: | 8 |
DOI: |
DOI: 10.1557/proc-784-c1.2 |
Notas: | SCOPUS |