High resolution elastic recoil detection analysis to investigate high-k/metal-gates stacks for floating gate applications

Judit Lisoni

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Fecha de publicación: 2013
Objetivos: FRES measurements on hybrid floating gate stacks
Año de Inicio/Término: 2013-2013
Financiamiento/Sponsor: European Community Integrating Activity Support of Public and Industrial Research Using Ion Beam Technology (SPIRIT)
Rol del Usuario: INVESTIGADOR(A) RESPONSABLE
DOI:

SPIRIT contract number 227012