High resolution elastic recoil detection analysis to investigate high-k/metal-gates stacks for floating gate applications
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Fecha de publicación: | 2013 |
Objetivos: | FRES measurements on hybrid floating gate stacks |
Año de Inicio/Término: | 2013-2013 |
Financiamiento/Sponsor: | European Community Integrating Activity Support of Public and Industrial Research Using Ion Beam Technology (SPIRIT) |
Rol del Usuario: | INVESTIGADOR(A) RESPONSABLE |
DOI: |
SPIRIT contract number 227012 |