Silicon cantilevers locally heated from 300 K up to the melting point: Temperature profile measurement from their resonances frequency shift
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Título de la Revista: | JOURNAL OF APPLIED PHYSICS |
Volumen: | 129 |
Fecha de publicación: | 2021 |
Página de inicio: | 184503 |
URL: | https://doi.org/10.1063/5.0040733 |