Diagnostic of capacitively coupled radio frequency plasma by homogeneous discharge model

Bora, B; Bhuyan, H; Favre, M.; Wyndham E.; Chuaqui, H

Más información

Título según WOS: Diagnostic of capacitively coupled radio frequency plasma by homogeneous discharge model
Título según SCOPUS: Diagnostic of capacitively coupled radio frequency plasma by homogeneous discharge model
Título de la Revista: Physics Letters A
Editorial: Elsevier
Fecha de publicación: 2012
Idioma: English
DOI:

10.1016/j.physleta.2012.03.004

Notas: ISI, SCOPUS