Diagnostic of capacitively coupled radio frequency plasma by homogeneous discharge model
Más información
Título según WOS: | Diagnostic of capacitively coupled radio frequency plasma by homogeneous discharge model |
Título según SCOPUS: | Diagnostic of capacitively coupled radio frequency plasma by homogeneous discharge model |
Título de la Revista: | Physics Letters A |
Editorial: | Elsevier |
Fecha de publicación: | 2012 |
Idioma: | English |
DOI: |
10.1016/j.physleta.2012.03.004 |
Notas: | ISI, SCOPUS |