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PHYSICS LETTERS A  (2012)

Diagnostic of capacitively coupled radio frequency plasma by homogeneous discharge model

Bora, B.; Bhuyan, H.; Favre, M.; Wyndham E.; Chuaqui, H

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Título según WOS: Diagnostic of capacitively coupled radio frequency plasma by homogeneous discharge model
Título según SCOPUS: Diagnostic of capacitively coupled radio frequency plasma by homogeneous discharge model
Título de la Revista: PHYSICS LETTERS A
Editorial: Elsevier
Fecha de publicación: 2012
Idioma: English
DOI:

10.1016/j.physleta.2012.03.004
Notas: ISI, SCOPUS