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Plasma Sources Science and Technology  (2015)

Studies on the effect of finite geometrical asymmetry in dual capacitively coupled radio frequency plasma (vol 24, 054002, 2015)

Bora, B.

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Título según WOS: Studies on the effect of finite geometrical asymmetry in dual capacitively coupled radio frequency plasma (vol 24, 054002, 2015)
Título según SCOPUS: Corrigendum: Studies on the effect of finite geometrical asymmetry in dual capacitively coupled radio frequency plasma (2015 Plasma Sources Sci. Technol. 24 (054002))
Título de la Revista: Plasma Sources Science and Technology
Volumen: 24
Número: 6
Editorial: Institute of Physics Publishing
Fecha de publicación: 2015
Idioma: English
DOI:

10.1088/0963-0252/24/6/069501
Notas: ISI, SCOPUS