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PHYSICS OF PLASMAS  (2017)

An analytical model of multi-component radio frequency capacitively coupled plasma and experimental validation

Wyndham, Edmundo

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Título según WOS: An analytical model of multi-component radio frequency capacitively coupled plasma and experimental validation
Título según SCOPUS: An analytical model of multi-component radio frequency capacitively coupled plasma and experimental validation
Título de la Revista: PHYSICS OF PLASMAS
Volumen: 24
Número: 1
Editorial: AIP Publishing
Fecha de publicación: 2017
Idioma: English
DOI:

10.1063/1.4973233
Notas: ISI, SCOPUS